On-line在線薄膜厚度檢測方案

2023-06-12 15:04:21 Lucy

簡介

優(yōu)尼康科技有限公司（UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.）成立于2012年11月，注冊于中國香港，是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。

翌穎科技(上海)有限公司主要為半導體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進口制程及測量設備。提供一對一銷售服務，技術支持，備件管理和咨詢服務。

什么是Parylene ?

聚對二甲（Poly－para－ xylylene；簡稱（ parylene）是一種高分子聚合物，在中國又稱為＂派瑞林”。
Parylene是六十年代中期美國 union Carbide Co．開發(fā)應用的一種新型敷形涂層材料根據(jù)分子結構的不同， Parylene可分為N型、C型、D型、HT型等多種類型。

常用派瑞林材料基本特性

(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉強30%,耐電壓低于N粉, C粉適用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐電壓高防水, 防腐性能低于C粉, 適用于微型電機矽鋼片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐電壓都比C-N粉各項性能提高了15%左右, 是在C-N粉基礎上提升起來的,己經(jīng)代替了C-N粉生產(chǎn)用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外線強應用于戶外產(chǎn)品, 材料成本偏高客戶暫時很難接受單價.

什么是Parylene C?

膜厚測量儀|環(huán)境改善|Filmetrics

Parylene C 是系列中具有商業(yè)價值的成員。它由相同的單體制成，只是將其中一個芳香烴氫原子用一個氯原子所取代了。

綜合了優(yōu)良的介電性能和物理機械性能，對潮濕和腐蝕性氣體有很低的滲透性。

可以提供真正的無針孔覆形隔離。滿足美軍標MIL-46058C,是涂敷重要電路板的材料。

Parylene 特性

Parylene沈積可以經(jīng)由活潑的單體（ monomer）氣體，聚合于物體表面上，而不同于一般經(jīng)由液體涂層的方法制備。

其活性分子在被涂裝的對象表面生成完全披覆的聚合物薄膜，可涂裝到任何形狀的表面面，且不產(chǎn)生死角，包括括尖銳的棱角、隙縫內(nèi)部與細微的針孔中，

膜厚可一致性的被覆在產(chǎn)品的部位，薄膜厚度由1um－50um。

Parylene 行業(yè)應用

圖片關鍵詞

Parylene制程工藝介紹

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Parylene采用化學氣相沉積工藝（CVD）。

配積過程分為三步驟：
1．真空條件下, 以120℃將固態(tài)粉末狀的對二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加熱汽化;

2．以650℃ 將氣態(tài)的對二甲苯的二聚物 ,裂解為對二甲苯 (para-xylylene) 的活性單體(monomer);

3．氣態(tài)活性單體在室溫下沉積并聚合成聚對二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜。

Parylene 制程設備生產(chǎn)管控三要素

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Parylene 產(chǎn)品不良的3種特征

Parylene 行業(yè)的龍頭

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日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收購美國特種涂層公司Specialty Coating Systems(SCS)。

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生產(chǎn)過程中容易出現(xiàn)的問題及監(jiān)管

問題：

1 .鍍膜過程材料分解純度不夠（缸體內(nèi)壓力控制，到時厚度均勻性差
2. 材料在缸體停留時間過長，導致產(chǎn)品發(fā)白
3. 產(chǎn)品缸內(nèi)擺涉及原材料氣相流動，也會對產(chǎn)品的厚度均勻性產(chǎn)生影響
4. 生產(chǎn)過程中堵缸，產(chǎn)品膜厚不增長
5. 擋風板結構設計很重要，不合理會殘留材料會導致送料管堵塞

溫度，壓力管控、厚度在線監(jiān)控

產(chǎn)品發(fā)白，發(fā)藍，產(chǎn)品附著力差、膜厚不均勻.

Filmetrics –在線測量的優(yōu)勢

無損，非接觸式測量、預警

1.生產(chǎn)產(chǎn)品過程監(jiān)控—實時反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù)，提升產(chǎn)品品質
2.提升生產(chǎn)效率— 設定生產(chǎn)指標，報警提示
3.節(jié)省材料成本— 縮小產(chǎn)品指標公差，材料節(jié)省可見
4.減少人工成本— 監(jiān)控室直接在線數(shù)據(jù)監(jiān)管
5.堵缸、停缸監(jiān)控— 節(jié)省材料，與人工挽救不良率
6.給產(chǎn)品設定精確的厚度范圍
7.方便不同產(chǎn)品工藝的調整

Filmetrics –生產(chǎn)過程在線監(jiān)控與測量的生產(chǎn)線布置示意圖

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