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- / 精密儀器必備！優(yōu)尼康減振臺(tái)代理
在半導(dǎo)體制造、納米材料表征及電子顯微分析等前沿領(lǐng)域，環(huán)境振動(dòng)是影響精密儀器測(cè)量精度的主要干擾源。一項(xiàng)針對(duì)超過(guò)60%測(cè)量異常案例的分析表明，問(wèn)題根源在于環(huán)境振動(dòng)。此時(shí)，選擇專(zhuān)業(yè)的減振臺(tái)代理成為保障數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性的關(guān)鍵一步。優(yōu)尼康科技（翌穎科技）作為深耕精密測(cè)量領(lǐng)域十余年的技術(shù)型企業(yè)，正為半導(dǎo)體晶圓廠、高校實(shí)驗(yàn)室及科研機(jī)構(gòu)提供高性能主動(dòng)式減振系統(tǒng)。
掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、光刻設(shè)備及白光干涉輪廓儀等儀器的分辨率已進(jìn)入納米甚至亞納米級(jí)別。建筑結(jié)構(gòu)傳導(dǎo)的腳步聲、空調(diào)系統(tǒng)的低頻嗡鳴、附近交通引起的微振，都會(huì)在測(cè)量結(jié)果中引入顯著噪聲。被動(dòng)減振方案（如橡膠墊、氣浮平臺(tái)）對(duì)高于200Hz的振動(dòng)有一定效果，但在1-200Hz這一典型環(huán)境振動(dòng)頻段內(nèi)，隔離能力迅速衰減。主動(dòng)式減振臺(tái)代理提供的解決方案，采用壓電傳感器與驅(qū)動(dòng)器協(xié)同工作——傳感器實(shí)時(shí)檢測(cè)來(lái)自六個(gè)自由度的振動(dòng)信號(hào)，驅(qū)動(dòng)器隨即產(chǎn)生反向作用力，實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)抵消。優(yōu)尼康科技的減振臺(tái)系列，主動(dòng)隔振范圍覆蓋1-200Hz，并可搭配LFS系統(tǒng)將下限擴(kuò)展至0.5Hz，被動(dòng)隔振覆蓋＞200Hz，徹底消除低頻共振風(fēng)險(xiǎn)。
TS系列專(zhuān)為輪廓儀、顯微鏡等桌面型儀器設(shè)計(jì)，提供六自由度三軸主動(dòng)隔振，頻率范圍0.7-100Hz。配備自動(dòng)高度調(diào)節(jié)、水平自動(dòng)調(diào)節(jié)（即使重心偏離中心也可自動(dòng)恢復(fù)）以及系統(tǒng)鎖止功能（便于搬運(yùn)保護(hù)）。LCD面板實(shí)時(shí)顯示X、Y、Z三個(gè)方向的振動(dòng)狀態(tài)，讓用戶(hù)直觀感知環(huán)境振動(dòng)水平。
無(wú)低頻共振：傳統(tǒng)被動(dòng)減振臺(tái)在自身諧振頻率附近會(huì)放大振動(dòng)，而主動(dòng)系統(tǒng)通過(guò)反饋回路完全抑制機(jī)械共振，不會(huì)出現(xiàn)任何振動(dòng)放大現(xiàn)象。
振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間極短：主動(dòng)隔振模塊的響應(yīng)時(shí)間小于10毫秒（AVI-400系列），這意味著當(dāng)外界沖擊發(fā)生后，儀器能在極短時(shí)間內(nèi)恢復(fù)穩(wěn)定狀態(tài)，不影響連續(xù)測(cè)量。
無(wú)氣壓要求且無(wú)電磁干擾：主動(dòng)式減振臺(tái)采用壓電技術(shù)，無(wú)需壓縮空氣氣源，不會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)干擾，特別適合對(duì)電磁環(huán)境敏感的電子顯微鏡和超高壓掃描探針顯微鏡。
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