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- / 你的輪廓儀品牌夠準(zhǔn)嗎？?jī)?yōu)尼康共聚焦技術(shù)突破納米級(jí)！
評(píng)估市面上的輪廓儀品牌時(shí)，首要問(wèn)題是：其測(cè)量數(shù)據(jù)可信任至何種數(shù)量級(jí)？?jī)?yōu)尼康科技給出的答案是亞納米級(jí)。通過(guò)融合共聚焦光學(xué)原理與白光干涉技術(shù)，該品牌實(shí)現(xiàn)了垂直分辨率0.1nm（PSI模式）、臺(tái)階高度準(zhǔn)確度0.7%的突破性指標(biāo)，為半導(dǎo)體封裝、新材料研發(fā)提供了可追溯的精密測(cè)量能力。
該寬動(dòng)態(tài)范圍使同一輪廓儀品牌可同時(shí)勝任MEMS微結(jié)構(gòu)的臺(tái)階高度驗(yàn)證，以及晶圓背面減薄后的粗糙度篩查。以某功率半導(dǎo)體客戶(hù)為例，使用優(yōu)尼康Profilm3D設(shè)備發(fā)現(xiàn)了傳統(tǒng)觸針式輪廓儀漏檢的微小劃痕（深度約1.2nm），從而避免了后續(xù)封裝過(guò)程中的裂縫風(fēng)險(xiǎn)。
臺(tái)階高度準(zhǔn)確度：0.7%
臺(tái)階高度精確度：0.1%
WLI模式RMS重復(fù)性：1.0nm
PSI模式RMS重復(fù)性：0.1nm
視場(chǎng)范圍：10倍物鏡下可達(dá)2mm，支持4倍光學(xué)變焦
此外，每臺(tái)設(shè)備標(biāo)配100mm自動(dòng)XY樣品臺(tái)和4孔物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)，無(wú)需額外選購(gòu)即可實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量。對(duì)于需要批量檢測(cè)的輪廓儀品牌用戶(hù)，該配置直接降低了綜合采購(gòu)成本。
OLED掩模版檢測(cè)：蒸鍍用掩模版的微米級(jí)變形會(huì)導(dǎo)致像素位置偏移。優(yōu)尼康輪廓儀憑借2mm大視場(chǎng)與拼接功能軟件升級(jí)，可對(duì)300mm×300mm區(qū)域進(jìn)行無(wú)縫拼接，總測(cè)量時(shí)間不超過(guò)3分鐘。
新能源電池極片：涂布后的表面輪廓直接影響鋰離子傳輸均勻性。某頭部電池企業(yè)引入優(yōu)尼康輪廓儀用于在線抽檢，極片缺陷檢出率從92%提升至99.3%。
化合物半導(dǎo)體：SiC襯底的表面粗糙度要求低于0.5nm。優(yōu)尼康PSI模式達(dá)到0.1nm重復(fù)性，完全滿(mǎn)足車(chē)規(guī)級(jí)功率器件的襯底驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。
上述案例表明，優(yōu)秀的輪廓儀品牌不僅需要提供硬件，還需配套成熟的工藝數(shù)據(jù)庫(kù)和快速響應(yīng)的本地服務(wù)。優(yōu)尼康已在上海、東莞、天津、成都、蘇州設(shè)立分支機(jī)構(gòu)，工程師平均行業(yè)經(jīng)驗(yàn)超過(guò)10年。
即便輪廓儀自身精度達(dá)到較高水平，環(huán)境中的低頻振動(dòng)（1~200Hz）仍會(huì)導(dǎo)致干涉條紋抖動(dòng)。優(yōu)尼康提供HERZ系列主動(dòng)式減振臺(tái)（如AVI-400/600及TS系列），可將外部振動(dòng)衰減至系統(tǒng)噪聲水平低于50nG/√Hz，響應(yīng)時(shí)間為5至20毫秒。對(duì)于安裝在普通樓層實(shí)驗(yàn)室的輪廓儀品牌設(shè)備，該方案相當(dāng)于創(chuàng)造了“虛擬超凈間”的力學(xué)環(huán)境。
優(yōu)尼康科技已先后獲得“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)”和“專(zhuān)精特新企業(yè)”稱(chēng)號(hào)，合作客戶(hù)包括三星、臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技等全球知名企業(yè)。對(duì)于初次接觸該輪廓儀品牌的用戶(hù)，提供免費(fèi)測(cè)樣服務(wù)：用戶(hù)可寄送典型樣品，由優(yōu)尼康實(shí)驗(yàn)室出具正式測(cè)量報(bào)告后再?zèng)Q策采購(gòu)。售后方面，7×24小時(shí)在線支持與8小時(shí)快速響應(yīng)機(jī)制確保產(chǎn)線連續(xù)運(yùn)行。
優(yōu)尼康公眾號(hào)
售后服務(wù)支持
