HERZ AVI-400系列主動(dòng)式防震系統(tǒng) | 主動(dòng)+被動(dòng)雙模隔振

HERZ AVI-400系列主動(dòng)式防震系統(tǒng)

主動(dòng)+被動(dòng)雙模隔振 | 0.7Hz~200Hz主動(dòng)隔振 | 無(wú)低頻共振 | 無(wú)需氣壓支持 | 負(fù)載最高800kg

HERZ AVI-400主動(dòng)式防震系統(tǒng)

0.7Hz

主動(dòng)隔振起點(diǎn)

90%

2Hz 隔振率

95%

5Hz 隔振率

<0.01

10Hz以上傳輸率(-40dB)

<20ms

響應(yīng)時(shí)間

800kg

最大負(fù)載能力

產(chǎn)品介紹

HERZ AVI-400系列主動(dòng)式防震系統(tǒng) 采用"主動(dòng)+被動(dòng)"雙模式隔振技術(shù)，主動(dòng)隔振范圍0.7Hz~200Hz，被動(dòng)隔振范圍>200Hz，可隔離六個(gè)空間方向的振動(dòng)干擾。系統(tǒng)內(nèi)置壓電加速度傳感器與音圈馬達(dá)，實(shí)時(shí)探測(cè)傳入振動(dòng)并生成反向補(bǔ)償力，5~20毫秒內(nèi)完成響應(yīng)，10Hz以上傳輸率低于0.01（-40dB），無(wú)低頻共振、無(wú)需氣壓支持。

模塊化設(shè)計(jì)支持自由擴(kuò)展，負(fù)載能力最高可達(dá)800kg以上，桌面尺寸和隔振模塊數(shù)量均可按需配置。LCD顯示屏實(shí)時(shí)監(jiān)控振動(dòng)狀態(tài)，即插即用，安裝簡(jiǎn)便。適用于掃描電鏡(SEM)、透射電鏡(TEM)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描探針顯微鏡(SPM)、光刻機(jī)、激光干涉儀、光譜儀、輪廓儀、電子天平等各類超高精度設(shè)備。

技術(shù)標(biāo)桿

優(yōu)于被動(dòng)隔振系統(tǒng) · 無(wú)低頻共振 · 振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間<10ms · 無(wú)需氣壓 · 無(wú)電磁干擾 · 模塊化可擴(kuò)展

核心優(yōu)勢(shì)

主動(dòng)+被動(dòng)雙模隔振

主動(dòng)模塊專攻0.7~200Hz低頻振動(dòng)補(bǔ)償，被動(dòng)模塊吸收200Hz以上高頻振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)全頻段隔振。

無(wú)低頻共振

徹底消除被動(dòng)防震臺(tái)常見(jiàn)的低頻共振峰，運(yùn)行狀態(tài)穩(wěn)定無(wú)二次干擾，確保成像清晰度。

極速響應(yīng)

壓電傳感器實(shí)時(shí)采集振動(dòng)，音圈馬達(dá)5~20ms內(nèi)輸出反向補(bǔ)償力，10Hz以上傳輸率<0.01(-40dB)。

無(wú)需氣壓支持

純主動(dòng)控制技術(shù)，無(wú)需氣源、空壓機(jī)或氣浮組件，即插即用，安裝與維護(hù)極度簡(jiǎn)化。

模塊化可擴(kuò)展

支持單模塊至多模塊組合，負(fù)載最高800kg+，桌面尺寸和隔振模塊數(shù)量按需配置。

實(shí)時(shí)監(jiān)控

LCD顯示屏實(shí)時(shí)顯示振動(dòng)狀態(tài)與隔振效果，無(wú)需額外軟件，直觀掌握環(huán)境振動(dòng)水平。

適用設(shè)備與行業(yè)

掃描電鏡(SEM)

透射電鏡(TEM)

原子力顯微鏡(AFM)

掃描探針顯微鏡(SPM)

光刻機(jī)/EBL

激光干涉儀

光譜儀/輪廓儀

高精度電子天平

半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備

超高真空SPM

兼容蔡司、徠卡、日立、日本電子、FEI等主流品牌電鏡及各類精密儀器。

工作原理

AVI-400依靠?jī)?nèi)置壓電加速度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)平臺(tái)上的振動(dòng)信號(hào)，通過(guò)智能控制器快速分析振動(dòng)波形與頻率?？刂破髦噶钜羧︸R達(dá)驅(qū)動(dòng)器生成與干擾振動(dòng)相位相反、振幅相同的反向作用力，主動(dòng)抵消外界振動(dòng)干擾。系統(tǒng)采用六自由度控制算法，自適應(yīng)地基振動(dòng)前饋，全方位阻斷水平、垂直及扭轉(zhuǎn)方向的振動(dòng)傳遞。結(jié)合被動(dòng)隔振模塊吸收高頻殘余振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)從0.7Hz開(kāi)始的全程隔振保護(hù)。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品系列	AVI-400M / AVI-400LP Plus	品牌	HERZ (Table Stable)
主動(dòng)隔振頻段	0.7Hz ~ 200Hz	被動(dòng)隔振頻段	>200Hz
隔振自由度	六自由度 (水平/垂直/扭轉(zhuǎn))	傳輸率(@10Hz)	<0.01 (-40dB)
2Hz 隔振率	≥90%	5Hz 隔振率	≥95%
響應(yīng)時(shí)間	5 ~ 20ms	低頻共振	無(wú)
最大負(fù)載能力	800kg+ (模塊化擴(kuò)展)	氣壓要求	無(wú)需氣源
傳感器類型	壓電加速度傳感器	驅(qū)動(dòng)組件	音圈馬達(dá)
控制方式	自適應(yīng)反饋 + 前饋控制
狀態(tài)監(jiān)控	LCD顯示屏實(shí)時(shí)顯示
安裝方式	即插即用，無(wú)需工具，不改變?cè)O(shè)備外觀
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防震效果對(duì)比

防震前

防震后

主動(dòng)隔振效果對(duì)比：有效消除低頻振動(dòng)對(duì)高分辨率成像的干擾

安裝實(shí)例

AVI-400M/LP Plus 與 ZEISS Sigma 500

AVI-400M/4/LP Plus 與 FEI TEM

客戶評(píng)價(jià)

“安裝AVI-400后，我們蔡司Sigma 500在高倍成像時(shí)的振動(dòng)噪聲明顯消除。無(wú)氣壓要求的設(shè)計(jì)讓安裝極為方便，LCD顯示屏實(shí)時(shí)顯示的隔振狀態(tài)一目了然?！?/p>

—— 材料表征實(shí)驗(yàn)室電鏡平臺(tái)

“TEM對(duì)低頻振動(dòng)極其敏感，AVI-400的0.7Hz主動(dòng)隔振完美解決了地鐵經(jīng)過(guò)時(shí)的圖像抖動(dòng)問(wèn)題。模塊化設(shè)計(jì)可靈活擴(kuò)展，后續(xù)增加設(shè)備只需增加隔振模塊即可?！?/p>

—— 半導(dǎo)體研發(fā)中心分析測(cè)試部

常見(jiàn)問(wèn)題

AVI-400系列與被動(dòng)防震臺(tái)的主要區(qū)別是什么？+

主動(dòng)防震通過(guò)傳感器和驅(qū)動(dòng)器實(shí)時(shí)產(chǎn)生反向力抵消低頻振動(dòng)（0.7-200Hz），無(wú)低頻共振峰；被動(dòng)防震依賴彈性材料吸收高頻振動(dòng)。AVI-400融合主動(dòng)+被動(dòng)雙模，實(shí)現(xiàn)全頻段隔振，且無(wú)需氣壓支持。

AVI-400需要外接氣源或空壓機(jī)嗎？+

不需要。AVI-400采用純主動(dòng)控制技術(shù)，無(wú)需任何氣壓或氣浮組件，只需連接標(biāo)準(zhǔn)電源即可工作，即插即用。

最大負(fù)載能力是多少？可以定制嗎？+

標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)負(fù)載最高800kg，采用模塊化設(shè)計(jì)，可通過(guò)增加隔振模塊進(jìn)一步提升負(fù)載能力。桌面尺寸和模塊數(shù)量均可按需配置，支持單臺(tái)設(shè)備專屬定制。

安裝后是否會(huì)影響設(shè)備原有結(jié)構(gòu)和保修？+

不影響。AVI-400采用緊湊模塊化設(shè)計(jì)，直接承載于設(shè)備底部，不改變顯微鏡外觀與整體結(jié)構(gòu)輪廓，無(wú)需打孔或改裝，不影響設(shè)備原廠保修。

AVI-400的隔振效果如何實(shí)時(shí)監(jiān)控？+

系統(tǒng)配備LCD顯示屏，可實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前振動(dòng)水平和隔振狀態(tài)，無(wú)需連接電腦或額外軟件即可直觀掌握環(huán)境振動(dòng)情況。

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