優(yōu)尼康科技代理KLA旗下Filmetrics F20光學(xué)膜厚儀，非接觸式測量，1秒內(nèi)測出1nm至3mm膜厚，精度高達0.02nm。內(nèi)置500+材料數(shù)據(jù)庫，無需建模即可測量半導(dǎo)體、OLED、光學(xué)鍍膜、聚合物等薄膜。支持免費測樣，工程師在線選型。歡迎咨詢了解更多！
高精度桌上型薄膜厚度測量系統(tǒng)——1秒出結(jié)果，非接觸測量從1nm到3mm
1nm～3mm 厚度測量范圍 | 0.02nm 測量精度 | ＜1秒 單次測量時間 | 500+ 內(nèi)置材料數(shù)據(jù)庫 |
Filmetrics F20 光學(xué)膜厚儀是業(yè)界暢銷的臺式薄膜厚度測量儀，作為一款高性能的非接觸式膜厚儀，它能在數(shù)秒內(nèi)精準測定薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n和k值）以及反射率、透過率。僅需通過USB連接電腦，幾分鐘即可完成安裝，基于模塊化設(shè)計，F(xiàn)20成為半導(dǎo)體膜厚測量、顯示技術(shù)、光學(xué)鍍膜和生物醫(yī)療等領(lǐng)域的理想光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)。無論是研發(fā)實驗室還是產(chǎn)線QC，F(xiàn)20都可作為主力精密薄膜測厚工具，助您輕松實現(xiàn)從納米到毫米級的膜層表征。
【非接觸測量】作為真正的非接觸式膜厚測量儀，避免損傷薄膜，特別適用于光刻膠、生物涂層等脆弱或敏感材料，滿足半導(dǎo)體膜厚檢測中的無損要求。
【高精度與寬量程】垂直分辨率高達0.02nm，厚度測量范圍覆蓋1nm至3mm，不僅勝任納米級超薄膜厚測量，也能應(yīng)對較厚的涂層，是真正意義上的精密膜厚測量系統(tǒng)。
【多場景適用】無論透明、半透明還是低吸收系數(shù)的薄膜，均可測量。涵蓋固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜，滿足OLED膜厚測量、光學(xué)鍍膜測厚、聚合物薄膜厚度檢測等多種需求。
【極速測量】配置完成后，1秒內(nèi)即可獲得厚度及光學(xué)常數(shù)結(jié)果，大幅提升膜厚測量效率，是產(chǎn)線上快速膜厚檢測的得力助手。
F20采用光反射干涉原理。入射光在薄膜上下表面發(fā)生反射，兩束反射光相互干涉形成振蕩光譜。通過分析光譜的振蕩頻率，即可精確計算出薄膜的厚度（振蕩越密集代表膜層越厚），同時還能推導(dǎo)出材料的折射率（n）和消光系數(shù)（k）等光學(xué)常數(shù)，這是光學(xué)薄膜厚度測量儀的核心技術(shù)基礎(chǔ)。
薄膜特性：厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等
薄膜種類：透明及半透明薄膜，常見如氧化物、氮化物、聚合物、光刻膠、ITO等
薄膜狀態(tài)：固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜均可測量
薄膜結(jié)構(gòu)：單層膜、多層膜；平面、曲面樣品均可
半導(dǎo)體膜層 | 顯示技術(shù) | 消費電子 | 派瑞林/生物醫(yī)療 |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)療器械涂層 |
波長范圍 | 380-1050nm | 光源 | 鹵素燈 |
厚度測量范圍 | 15nm～70μm | 測量精度 | 0.02nm |
光斑大小 | 1.5mm（可選小至20μm） | 樣品臺尺寸 | 1mm～300mm |
| 型號 | 厚度范圍 | 波長范圍 | 典型適用場景 |
|---|---|---|---|
| F20-UV | 1nm～40μm | 190～1100nm | 超薄膜（OLED、光刻膠） |
| F20-UVX | 1nm～250μm | 190～1700nm | |
| F20 | 15nm～70μm | 380～1050nm | 通用型（半導(dǎo)體、聚合物） |
| F20-EXR | 15nm～250μm | 380～1700nm | 較厚膜層（光學(xué)鍍膜） |
| F20-NIR | 100nm～250μm | 950～1700nm | 超薄膜（OLED、光刻膠） |
| F20-XT | 0.2μm～450μm | 1440～1690nm | 厚膜測量（硅膜） |
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“之前用臺階儀每次都需要制樣，非常耗時。換成F20膜厚儀后，非接觸式測量節(jié)省了我們80%的前處理時間，0.02nm的精度對標我們的鍍膜工藝完全夠用。這臺光學(xué)膜厚測量設(shè)備安裝簡單，工程師只花了5分鐘就教會了我們團隊。”
——某國內(nèi)半導(dǎo)體材料廠商 工藝部
“Filmetrics F20是我們實驗室使用最多的膜厚測量設(shè)備，500多種內(nèi)置材料數(shù)據(jù)庫基本覆蓋了我們所有的日常研發(fā)需求。從OLED有機層到封裝膠，一鍵測量，數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠，是一款非常實用的薄膜厚度測量儀。”
——某顯示面板企業(yè)研發(fā)中心
F20作為光學(xué)膜厚儀，采用光反射干涉原理進行非接觸測量。入射光穿透薄膜層，在薄膜上下表面發(fā)生反射并產(chǎn)生干涉光譜，通過分析光譜震蕩頻率來計算薄膜厚度及光學(xué)常數(shù)（n和k值），1秒內(nèi)即可獲得結(jié)果，是典型的光學(xué)薄膜測厚方法。
基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以使用本薄膜厚度測量儀進行測量，包括半導(dǎo)體材料（SiNx、非晶硅）、聚合物（SU-8光刻膠、派瑞林）、透明導(dǎo)電膜（ITO）、光學(xué)鍍層（TiO2、DLC）等。固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜均可，單層膜和多層堆疊膜層同樣適用，完美覆蓋各類膜厚測量需求。
F20系列精密膜厚測量系統(tǒng)的精度可達0.02nm（埃級分辨率），準確度為1nm或測量厚度的0.2%中取大值，穩(wěn)定性高達0.05nm。對于半導(dǎo)體、微電子領(lǐng)域的超薄膜檢測需求，如納米級膜厚測量，完全勝任。
安裝非常簡單。只需將這臺非接觸膜厚測量設(shè)備通過USB連接至運行Windows系統(tǒng)的電腦，連接樣品平臺，幾分鐘內(nèi)即可完成設(shè)置。配套的FILMeasure軟件界面直觀，無需專業(yè)培訓(xùn)即可上手操作，讓膜厚檢測變得輕松快捷。
不確定您的樣品是否適合我們的測量設(shè)備？我們提供免費樣品測試服務(wù)！您只需將樣品寄送給我們，專業(yè)工程師將使用先進的測量設(shè)備為您進行測試，并提供詳細的測試報告和解決方案建議。
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