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    UNICORN 廬山系列 LS-400 主動式防震臺

    UNICORN LS-400主動式防震臺,專為電子顯微鏡及精密儀器設計。主動隔振頻段1-200Hz,從0.5Hz起高效隔振,2Hz隔振率90%,10Hz達99%。兼容SEM/TEM,無低頻共振,六自由度隔振。廣泛用于蔡司、萊卡、日立、日本電子等品牌的大型電子顯微鏡隔振,以及半導體設備、大型干擾儀、電子天平精密設備隔振。

    • 產(chǎn)品名稱 主動式防震臺
    • 品牌 UNICORN
    • 產(chǎn)品型號 廬山系列 LS-400
    • 產(chǎn)地 中國
    UNICORN LS-400 主動式防震臺 | 低頻高效主動隔振系統(tǒng)

    UNICORN LS-400 主動式防震臺

    低頻高效主動隔振系統(tǒng) | 六自由度隔振 | 兼容主流SEM/TEM | 從0.5Hz起主動隔振


    UNICORN LS-400 主動式防震臺

    0.5Hz
    主動隔振起點
    90%
    2Hz 隔振率
    99%
    10Hz 隔振率
    99.8%
    最大隔振率@70Hz
    1~200Hz
    主動隔振頻段
    產(chǎn)品介紹

    UNICORN LS-400 主動式防震臺 主打低頻高效隔振能力,最低可從0.5Hz起實現(xiàn)主動隔振,專為電子顯微鏡及各類大型精密科研儀器量身打造。設備完美兼容蔡司、徠卡、日立、日本電子等主流品牌電子顯微鏡,同時廣泛應用于半導體生產(chǎn)設備、大型干涉儀、高精度電子天平。產(chǎn)品可有效抵消破壞性低頻振動與環(huán)境噪聲,保障儀器運行穩(wěn)定,充分釋放精密設備的檢測與觀測性能。

    核心優(yōu)勢
    無低頻共振,六自由度全方位隔振,內(nèi)置高性能壓電傳感器與驅(qū)動組件,支持單臺電子顯微鏡專屬定制。
    核心優(yōu)勢
    超低頻主動隔振

    從0.5Hz起主動隔振,1-200Hz全段高效減振,解決建筑低頻振動干擾難題。

    六自由度隔離

    全方位抑制多方向振動,覆蓋水平、垂直及扭轉(zhuǎn)干擾,隔振更徹底。

    無低頻共振

    徹底消除被動防震臺常見的低頻共振峰,運行狀態(tài)穩(wěn)定無二次干擾。

    主動+被動雙重模式

    主動模塊專攻低頻補償,200Hz以上自動切換被動隔振,實現(xiàn)全頻段隔振。

    智能反饋控制

    高精度壓電傳感器實時采集振動,驅(qū)動單元輸出反向力動態(tài)抵消外部干擾。

    緊湊模塊化設計

    不改變顯微鏡外觀與結(jié)構(gòu)輪廓,安裝簡便,無需定期維護。

    適用設備與行業(yè)
    掃描電子顯微鏡(SEM)
    透射電子顯微鏡(TEM)
    原子力顯微鏡(AFM/STM)
    光刻設備
    光譜測量設備
    高精度計量/干涉儀
    電子束曝光機(EBL)
    超高真空SPM
    半導體檢測設備
    高精度電子天平

    全面兼容蔡司、徠卡、日立、日本電子等主流品牌電鏡,支持定制適配。

    測量原理

    LS-400依靠高精度傳感器實時采集外界振動信號,同步傳輸至智能控制器進行運算分析??刂破饕罁?jù)振動波形,指令驅(qū)動單元輸出反向作用力,動態(tài)抵消外部振動。產(chǎn)品融合主動控制與被動隔振雙重技術(shù),主動模塊專攻低頻振動補償,被動模塊吸收高頻振動能量,實現(xiàn)全頻段隔振。搭配六自由度控制算法,可自適應地基振動前饋,全方位阻斷多維度振動傳遞。

    產(chǎn)品參數(shù)
    產(chǎn)品型號LS-400品牌UNICORN
    主動隔振頻段1 ~ 200Hz被動隔振頻段>200Hz
    隔振起點0.5Hz (主動)諧震頻率
    2Hz 隔振率90%5Hz 隔振率97%
    10Hz 隔振率99%最大隔振率99.8% @70Hz
    隔振自由度六自由度 (水平/垂直/扭轉(zhuǎn))
    傳感器類型高性能壓電傳感器
    控制方式自適應反饋回路 + 前饋控制
    安裝方式緊湊模塊化,無需改變設備外觀
    更多定制參數(shù)及負載能力請咨詢優(yōu)尼康科技
    實機圖展示
    LS-400主動式防震臺實機
    LS-400安裝實例
    客戶評價

    “實驗室位于地鐵線附近,之前SEM圖像在低頻段總有抖動。加裝LS-400后,2Hz振動衰減超過90%,圖像質(zhì)量明顯改善,且安裝后電鏡外觀完全不受影響。”

    —— 某高校分析測試中心 電鏡平臺

    “LS-400的主動隔振性能出色,從0.5Hz就開始工作,我們蔡司電鏡在高倍成像時的穩(wěn)定性提升顯著。六自由度隔振也有效抑制了來自空調(diào)系統(tǒng)的水平振動?!?/p>

    —— 半導體失效分析實驗室 設備主管
    常見問題
    LS-400適合哪些類型的電子顯微鏡?+

    全面兼容掃描電鏡(SEM)、透射電鏡(TEM)、聚焦離子束(FIB)、原子力顯微鏡(AFM)等,支持蔡司、徠卡、日立、日本電子等主流品牌,可定制適配。

    主動防震與被動防震有什么區(qū)別?+

    主動防震通過傳感器和驅(qū)動器實時產(chǎn)生反向力抵消低頻振動(0.5-200Hz),無共振峰;被動防震依賴彈性材料吸收高頻振動。LS-400融合兩者,實現(xiàn)全頻段隔振。

    安裝是否會影響顯微鏡原有結(jié)構(gòu)和保修?+

    LS-400采用緊湊模塊化設計,直接承載于設備底部,不改變顯微鏡外觀與整體結(jié)構(gòu)輪廓,無需打孔或改裝,不影響設備原廠保修。

    需要定期維護嗎?+

    無需定期維護。產(chǎn)品采用高可靠性壓電組件和固態(tài)控制電路,安裝后即可長期穩(wěn)定運行。

    LS-400的負載能力是多少?+

    標準型號可承重400kg,可滿足大部分電鏡及大型設備需求;如需更高負載,可提供定制方案,請聯(lián)系我們獲取詳細規(guī)格。

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