HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀
優(yōu)尼康科技提供的HORIBA UVISEL Plus研究級(jí)經(jīng)典型橢偏儀，采用50kHz高頻PEM相位調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無任何運(yùn)動(dòng)部件，光譜范圍覆蓋190-2100nm（FUV至NIR）。膜厚測(cè)量范圍從幾埃至50微米，具備超薄膜所需的高精度和超厚膜所需的高光譜分辨率。FastAcqTM快速采集技術(shù)將測(cè)試靈敏度提升兩倍，毫秒級(jí)動(dòng)態(tài)采集模式支持在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。自動(dòng)量角器變角范圍40°-90°，步長(zhǎng)0.01°；微光斑可選50μm-100μm-1mm；探測(cè)器分別針對(duì)紫外、可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測(cè)器。搭載DeltaPsi2和Auto-Soft雙軟件界面，滿足研究級(jí)用戶深度建模與非專業(yè)人士一鍵操作雙重需求。適用于半導(dǎo)體（高k/低k介質(zhì)、SOI、SiC、GaAs）、平板顯示（OLED、TCO）、光伏太陽能（CIGS、CdTe）、光學(xué)涂層、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、納米技術(shù)、生物醫(yī)藥及材料科學(xué)研究等領(lǐng)域。優(yōu)尼康科技提供專業(yè)技術(shù)支持。
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品介紹：
HORIBA UVISEL Plus 相位調(diào)制型橢圓偏振光譜儀基于新版的電子設(shè)備，數(shù)據(jù)處理和高速單色儀，Fastacq技術(shù)能夠?yàn)橛脩籼峁└叻直婕翱焖俚臄?shù)據(jù)采集。FastAcq為薄膜表征特殊設(shè)計(jì)，雙調(diào)制技術(shù)使您可以獲得完整的測(cè)試結(jié)果。相位調(diào)制與消色差光學(xué)設(shè)計(jì)的結(jié)合提供了特別的膜厚測(cè)試效果。配備雙單色儀系統(tǒng)的特殊設(shè)計(jì)滿足用戶的期望值，通過模塊化的設(shè)計(jì)，更多的附件選擇，使得儀器使用能變得靈活?？梢员碚鞲鞣N薄膜材料,包括介電薄膜、半導(dǎo)體、有機(jī)物、金屬、超材料和納米材料等。
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
靈敏：測(cè)量速度有明顯提升
UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供簡(jiǎn)單快速的偏振調(diào)制，可用于各種樣品的測(cè)量，FastAcq快速采集技術(shù)使得測(cè)試靈敏度有了提升，從而能獲得界面簿膜和納米級(jí)低襯度襯底樣品的更多信息。
靈活
UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀模塊化設(shè)計(jì)，可靈活拓展，以適應(yīng)您的應(yīng)用及預(yù)算需求。相較于其他供應(yīng)商,UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀系統(tǒng)的可升級(jí)性能將更好的滿足您未來的應(yīng)用需求(190-2100nm)，校準(zhǔn)僅需幾分鐘。
簡(jiǎn)單
AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點(diǎn)，使得數(shù)據(jù)采集分析更加簡(jiǎn)便，易于非專業(yè)人員上手操作。
快速
UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀集成了FastAcq快速采集技術(shù)，可在3分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品(190-2100nm)，校準(zhǔn)僅需幾分鐘。
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品測(cè)量原理：
HORIBA UVISEL Plus 橢偏儀是利用薄膜的光學(xué)特性進(jìn)行膜厚測(cè)量的非接觸測(cè)量方法?；谄窆夥瓷浠蛲干鋾r(shí)的狀態(tài)變化來測(cè)量薄膜的厚度和折射率。當(dāng)偏振光照射到薄膜表面時(shí)，反射光或透射光的偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化，可以準(zhǔn)確地推導(dǎo)出薄膜的厚度。
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀軟件：
AutoSoft軟件提供一鍵式測(cè)試分析。附帶即點(diǎn)即用的菜單庫幫您掌控一切橢偏分析。
定制菜單
創(chuàng)建您自己的菜單，進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，自動(dòng)mapping和薄膜結(jié)構(gòu)分析，一鍵即可實(shí)現(xiàn)。完備的材料及模型數(shù)據(jù)庫
AutoSoft軟件提供了大量的材料模型便于您對(duì)材料及膜系進(jìn)行描述與設(shè)置。
多值計(jì)算
多值計(jì)算是HORIBA的算法，可快速準(zhǔn)確的找到符合的結(jié)果。多值計(jì)算可以應(yīng)用于膜厚以及其他色散參數(shù)的計(jì)算，能夠減化繁瑣的擬合步驟。
DeltaPsi2為橢偏全部功能服務(wù)
DeltaPsi2軟件提供了從測(cè)試到建模分析，輸出報(bào)告，以及自動(dòng)操作的全部功能控制，無需多個(gè)軟件間切換，使日常測(cè)試更加便捷。
HORIBA UVISEL Plus 相位調(diào)制型橢圓儀技術(shù)特點(diǎn)：
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀常見應(yīng)用：
反射及透射橢偏測(cè)試 | 粗糙度 | 界面 | 漸變層 |
周期結(jié)構(gòu) | 各向異性 | 合金 | 納米顆粒 |
帶隙計(jì)算 | n,k多值計(jì)算 | 散射測(cè)試 | 多入射角橢偏 |
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀行業(yè)應(yīng)用：
介電薄膜 | 半導(dǎo)體 | 有機(jī)物 |
超材料 | 納米材料 | AndMore… |
HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品參數(shù)：
| UVISELPlus | UVISELPlusNIR |
光譜范圍： | 190-885nm | 190–2100nm |
光源： | 75W氙燈 |
聯(lián)系我們獲取更多參數(shù)… |
