REF-SS3-Si 硅參考片

優(yōu)尼康科技提供REF-SS3-Si專(zhuān)用硅參考片，專(zhuān)為Filmetrics F20膜厚儀設(shè)計(jì)。用于薄膜厚度測(cè)量的精度驗(yàn)證、系統(tǒng)校準(zhǔn)與日常偏移監(jiān)控。厚度值可溯源至NIST標(biāo)準(zhǔn)，提供穩(wěn)定的SiO?/Si結(jié)構(gòu)參考，適用于半導(dǎo)體、光刻膠、光學(xué)薄膜等領(lǐng)域的設(shè)備校驗(yàn)。

產(chǎn)品名稱(chēng)： REF-SS3-Si 硅參考片

品牌： Filmetrics

產(chǎn)品型號(hào)： TS-SS3-SiO2-8000

產(chǎn)地：美國(guó)

SS3專(zhuān)用

SKU: REF-SS3-Si現(xiàn)貨供應(yīng)

REF-SS3-Si 硅參考片SS3探頭專(zhuān)用 | 反射率參考 | 僅適用于F20

F20搭配SS3反射探頭專(zhuān)用的硅參考片，用于建立100%反射率基線。與厚度標(biāo)準(zhǔn)片不同，參考片不含特定厚度，僅提供穩(wěn)定反射率參考。原裝正品。

類(lèi)型參考片材料硅(Si)適用 F20 + SS3

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產(chǎn)品亮點(diǎn)

SS3探頭專(zhuān)用 — 專(zhuān)為F20搭配SS3反射探頭設(shè)計(jì)，確保光學(xué)匹配
高純度硅材質(zhì) — 提供穩(wěn)定的反射率參考值，光譜平坦
快速建立基線 — 采集參考光譜后，系統(tǒng)可自動(dòng)計(jì)算樣品反射率
操作簡(jiǎn)便 — 直接放置于SS3探頭下方，即測(cè)即用
原裝正品 — Filmetrics認(rèn)證，確保參考基線的可靠性
維護(hù)必備 — 每次測(cè)量前使用參考片校準(zhǔn)基線，保證數(shù)據(jù)準(zhǔn)確

適用場(chǎng)景

反射率基線采集 — 測(cè)量樣品前，使用參考片建立100%反射率基準(zhǔn)
SS3探頭性能驗(yàn)證 — 定期檢查探頭反射信號(hào)的一致性
設(shè)備安裝調(diào)試 — 新安裝F20/SS3時(shí)作為參考標(biāo)準(zhǔn)
日常維護(hù) — 更換參考片以確保長(zhǎng)期測(cè)量穩(wěn)定性
質(zhì)量體系合規(guī) — 提供可追溯的反射率參考，滿(mǎn)足校準(zhǔn)要求

技術(shù)規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)	REF-SS3-Si
類(lèi)型	參考片（Reference）
材料	硅（單晶硅片）
用途	建立反射率參考基線
適用探頭	SS3反射探頭
兼容系統(tǒng)	F20 (搭配SS3探頭)

??請(qǐng)注意： REF-SS3-Si 是參考片，用于建立反射率基線，不是厚度標(biāo)準(zhǔn)片。如需厚度校準(zhǔn)，請(qǐng)選用TS-SS3-SiO2-8000標(biāo)準(zhǔn)片。該參考片僅適用于F20+SS3配置。保持表面清潔，避免劃傷。如有疑問(wèn)，聯(lián)系技術(shù)支持。

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F20通用型膜厚儀（需搭配SS3探頭）查看詳情

F20搭配SS3反射探頭時(shí)，使用REF-SS3-Si建立反射率參考基線。

常見(jiàn)問(wèn)題

REF-SS3-Si適用于哪些系統(tǒng)？ ▼

專(zhuān)用于搭載SS3反射探頭的F20膜厚儀。不適用于其他探頭或F系列機(jī)型。

參考片與標(biāo)準(zhǔn)片有什么區(qū)別？ ▼

參考片用于建立100%反射率基線，不含厚度信息。標(biāo)準(zhǔn)片具有已知厚度，用于厚度校準(zhǔn)。兩者功能不同，請(qǐng)勿混淆。

如何使用硅參考片？ ▼

將參考片放在SS3探頭下，采集參考光譜。隨后測(cè)量樣品時(shí)，軟件會(huì)自動(dòng)扣除參考基線，得到準(zhǔn)確的反射率。

參考片需要更換嗎？ ▼

硅片性能穩(wěn)定，妥善保管可長(zhǎng)期使用。若出現(xiàn)污染或劃痕影響參考光譜，建議更換新片。

是原裝正品嗎？ ▼

Filmetrics認(rèn)證原裝參考片，優(yōu)尼康科技官方供應(yīng)，確保反射率基線的準(zhǔn)確與穩(wěn)定。

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