KLA Zeta-388 光學輪廓儀

優(yōu)尼康科技提供的KLA Zeta-388光學輪廓儀，采用ZDot專利技術及多模式光學系統(tǒng)，是一款非接觸式三維（3D）表面形貌測量系統(tǒng)。系統(tǒng)集成六種不同的光學量測技術，包括白光干涉測量、諾馬斯基干涉對比顯微術、剪切干涉測量及光譜反射測厚等。ZDot測量模式可同時采集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色無限遠焦點圖像。Zeta-388在Zeta-300的基礎上增加了晶圓盒到晶圓盒（cassette-to-cassette）的晶圓傳送機械臂，支持全自動測量，集成防震臺及SECS/GEM通信協(xié)議。測量能力包括：亞納米至毫米級臺階高度、亞納米至亞毫米級表面粗糙度（含波紋度分析）、30nm至100μm透明薄膜厚度、2D/3D薄膜應力、2D/3D晶圓翹曲及外形，自動缺陷檢測可識別橫向尺寸大于1μm的缺陷。適用于半導體和化合物半導體、無線通訊器件（SAW/BAW/FBAR）、LED（含PSS圖形化藍寶石襯底）、晶圓級封裝（WLCSP/FOWLP）、MEMS微機電系統(tǒng)、PCB及柔性電路板、醫(yī)療器械及微流體元件等領域。優(yōu)尼康科技提供專業(yè)技術支持。

產(chǎn)品名稱：光學輪廓儀

品牌： KLA

產(chǎn)品型號： Zeta-388

產(chǎn)地：美國

KLA Zeta-388 光學輪廓儀

圖片關鍵詞

優(yōu)尼康科技提供的KLA Zeta-388光學輪廓儀，采用ZDot技術及多模式光學系統(tǒng)，是一款非接觸式三維（3D）表面形貌測量系統(tǒng)。系統(tǒng)集成六種不同的光學量測技術，包括白光干涉測量、諾馬斯基干涉對比顯微術、剪切干涉測量及光譜反射測厚等。ZDot測量模式可同時采集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色無限遠焦點圖像。Zeta-388在Zeta-300的基礎上增加了晶圓盒到晶圓盒（cassette-to-cassette）的晶圓傳送機械臂，支持全自動測量，集成防震臺及SECS/GEM通信協(xié)議。測量能力包括：亞納米至毫米級臺階高度、亞納米至亞毫米級表面粗糙度（含波紋度分析）、30nm至100μm透明薄膜厚度、2D/3D薄膜應力、2D/3D晶圓翹曲及外形，自動缺陷檢測可識別橫向尺寸大于1μm的缺陷。適用于半導體和化合物半導體、無線通訊器件（SAW/BAW/FBAR）、LED（含PSS圖形化藍寶石襯底）、晶圓級封裝（WLCSP/FOWLP）、MEMS微機電系統(tǒng)、PCB及柔性電路板、醫(yī)療器械及微流體元件等領域。優(yōu)尼康科技提供專業(yè)技術支持。

KLA Zeta-388 光學輪廓儀產(chǎn)品介紹：

KLA Zeta-388光學輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在Zeta-300光學輪廓儀的基礎上，增加了用于全自動測量的機械手臂操作系統(tǒng)。Zeta-388光學輪廓儀采用ZDot技術和多模組光學系統(tǒng)，可測量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級到毫米級的臺階高度。KLA Zeta-388光學輪廓儀支持OCR和SECS/GEM，從而可用于全自動產(chǎn)線的生產(chǎn)制造。